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公開日:2015.09.15

本学教員が第11回精密工学会賞を受賞

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 平成27年9月5日(土),第11回精密工学会賞が発表され,本学産学連携センター連携部門の土肥俊郎特任教授(九州大学名誉教授)が受賞しました。
 本賞は,精密工学会で最も高位に位置付けられ,精密工学分野において研究・技術・教育に関する革新的な功績をあげた研究者,技術者に贈られるものです。
 土肥特任教授は,これまで長年に亘り独創的な超精密加工技術とその応用研究に従事し,近年の半導体デバイス製造に不可欠な技術である超精密プラナリゼーションCMPプロセス技術の研究開発とその実用化において,世界的なリーダーシップをとり同分野の発展に大きく貢献しました。また,平成16年にCMPに関する国際会議を提唱し,平成26年に行われた第11回ICPTでは功績記念と後進育成を目的に「DOI Award」も設立されています。
 以上のように,超精密加工技術分野の研究開発とその実用化を牽引発展させ,学術,教育,産業において顕著な貢献があり,精密工学会の名声を高めるなどの功績により今回の受賞に至りました。
 なお,9月4日(金)~6日(日)に東北大学にて行われた2015年度精密工学会秋季大会で贈賞式と授賞記念講演が行われ,土肥特任教授は「革新的研磨/CMP技術を目指して40周年有余-産業界との連携を念頭に-」と題して発表しました。

写真

(上)賞状を受け取る土肥特任教授(右)
(中)受賞記念講演の様子
(下)受賞記念講演を行う土肥特任教授

お問い合わせ

産学連携センター 特任教授(九州大学名誉教授) 土肥俊郎
TEL・FAX:092-501-8570
E-mail:doi★astec.kyushu-u.ac.jp
※メールアドレスの★を@に変更してください。

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